微型PECVD系统
产品概述:
这款小型PECVD,其腔体为 3" dia x 16" L的石英腔体,而且加热圈在石英腔体内部对样品进行加热,此系统配有2通道混气系统和双旋机械泵。整套仪器都按放在一个移动架上,以便于实验操作。等离子腔体内部的最高温度可以达到400℃,采用程序化控温。此款小型廉价的PECVD系统对于薄膜生长和纳米线的制作是一款很好的选择。
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技术参数产品视频实验案例警示/应用提示配件详情
等离子源

· 等离子体射频电源:110220VAC, 50/60 Hz, < 100W

· 输出频率: 13.56 MHz

· 三档射频功率大小: 7.2W. 10.5W  18W (可调节)

· 腔体尺寸:3"OD x 2.7"ID x 16" L

仪器中带有一套不锈钢密封法兰使得腔体内部的真空度为10^-2 torr(用机械泵)


视频

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      操作视频

滑动法兰

· 有一滑轨法兰安装于移动架上,以便于样品的放入和取出。

样品可以放入加热线圈内,以达到更好的加热效率和温度的均匀性。


加热圈和温控系统

· 加热圈尺寸:50mm OD x 40mm ID x 70mm,可使样品达到的温度为400℃

· 加热圈上套有一2" ID x 75mm L的石英罩,以减小热量损失

· 温控方面:采用PID方式调节温度,同时可设置30段升降温程序,控温精度为: +/-1ºC

输入电源: AC 220V

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两通道混气系统

· 混气箱上安装有两个浮子流量计,其量程为10-100SCCM

· 三个机械压力表:-0.1-0.15 MPa,

· 混气箱上安装有304不锈钢针阀

· 配有三根1/4"的聚四氟乙烯管

· 混气箱尺寸:  340Lx300Dx 180H, mm    ( 13.4"x12"x7").

净重: 14 lbs.


真空和气体接口

标准的真空配置有

· 一套3"的不锈钢法兰(上面安装有KF-25的真空泵接口,一个1/4"卡套接头和不锈钢针阀)

· 一根KF25的波纹管(长度为1m)和三KF25卡箍

· 一个数字式真空显示计

· 等离子腔体中可以通入多种惰性性气体,如N2, Ar, Air ,以及各种混合性气体。

· 可以调整腔体内的压力或是进气流量,确保等离子体达到样品处

(注意:不可通入易燃易爆性气体)


真空泵

· 仪器中配有一双旋机械真空泵,其抽气速率为120L/min,

进气口为KF25接口,可以使腔体内真空度小于30mTorr


移动架

设备中配有一 600L x 600W x 600Hmm)的移动架,整个CVD系统可以安置于其上面


仪器尺寸

· 等离子源: 8.5" H x 10" W x 8" D

· 温控盒: 4"H x 10"W x 8"D

移动架:600 x 600 x 600mm


重量

70 lb (包含真空泵)


质保期

一年质保期(不包含石英管和密封圈)


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公司环境

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合肥科晶品牌纪录片                                     公司环境

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