真空手套箱(含真空泵)
型号:
VGB-6-II
产品概述:
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产品特点

手套箱前窗门设计为开启式,便于放入设备

带有一下沉式储藏箱(Φ315mm×440mm),可放入仪器(如旋涂仪),而不占用手套箱主仓空间

有循环净化系统,可是手套箱内H2O & O2< 1ppm

可选配过度藏加热,最高温度可达200℃

可选购有机吸系统和酸性气体吸附系统


电源要求

110VAC 或 220VAC, 50/60Hz, 单相

功率:5.5KW


手套箱腔体

腔体材料:304不锈钢,厚度3mm

前窗开启式设计,材料为透明钢化安全玻璃,厚度8mm

腔体为2接,每节腔体尺寸为1220mm(L) x 780mm(W) x 900mm(H),总尺寸为

2440mm(L) x 770mm(W) x 890mm(H)

每节手套箱腔体顶部都安装有滑动物料板:300mmL×250mmW×300mmH

接口:每节箱体后侧有4个KF40接口,共8个KF40接口

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过度仓

· 2个过度仓

· 大过度仓尺寸:内径Φ360mm×长度600mm

· 小过度仓尺寸:内径Φ150mm×长度300mm

· 最大真空度:100Pa

· 大过度仓内安装有滑动托盘

· 可选购大过度仓加热(需额外付费),最高温度可达200℃

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手套

材料:丁基橡胶     尺寸:Φ203mm(8英寸)×813mm(32英寸)


下沉式储藏箱

手套箱腔体底部安装有下沉式储藏箱,可放入仪器(如旋涂仪),而不占用手套箱主仓空间

尺寸:Φ314mm(内径)×455mm(其他尺寸可定制),可放入本公司旋涂仪

下沉式储藏箱背面有1组KF40接口,可对接馈通,用于仪器主机与手套箱外的控制柜、真空泵和电源对接,不破坏手套箱内部环境

下沉式储存箱顶盖上有一隐形把手,便于用户在手套箱内打开顶盖

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净化系统

可使手套箱腔体H2O & O2< 1ppm

净化材料:铜触媒(BASF R3-11G 除氧)5KG,分子筛(Na86((AlO2)86(SiO2)106.XH20UOP  13X APG 4*8 除水)5KG

净化能力:除氧60L,除水2KG

粉尘过滤:配有2个粉尘过滤器可过滤颗粒>0.3um,安装位置一个气体入口和一个气体出口

可选:有机溶剂吸附系统(采用材料活性炭,约5KG),酸性气体吸附系统(SDG干式酸性吸附剂,约5kg),

注意:活性炭和SDG干式酸性吸附剂不可再生重复使用,大约1年更换一次(根据用户使用环境)

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粉尘过滤器滤芯

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鼓风机  净化系统 有机蒸  酸性蒸汽

       (铜触媒  汽吸附  吸附系统

       和分子筛)系统

              (活性炭)



循环&再生

循环工作气体:N2, Ar, He

注意在Ar气环境下所使用设备,输入电压需<24V

循环能力:鼓风机流量:90m³/h

再生:触摸屏PLC控制自动再生

再生气体:工作气体与氢气混合(氢气5%-10%)


真空泵

双极旋片式机械泵,泵的出口安装有油雾过滤器

抽气速率:240L/min

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馈通

设备中配有电源想馈通,接有插排(5个插座位置),最大承载电流15A。可接手套箱外部电源110V或220V


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控制系统

显示和设置界面为西门子PLC触摸屏

控制功能:压力控制,循环控制,再生控制和自诊断等

压力控制:控制腔体压力,箱体工作压力在+/-10mbar内可自由设置,超出+/-13mbar系统自我保护

脚踏开关:箱体内气压可通过脚踏开关调整

水传感器:0-1000ppm,显示精度0.1ppm

氧传感器:0-1000ppm,显示精度0.1ppm


手套箱尺寸

3115mm(L)×1040mm(W)×1860mm(H)


运输重量

约950kg


注意事项

· 手套箱室和气体净化系统之间的互连在净化循环期间必须畅通无阻。

· 禁止使用腐蚀性气体,因为它们会损坏水和氧气传感器。

· 定期进行再生以保持最佳净化效率。

· O2 去除率很大程度上取决于所使用的吹扫气体类型。对于更快的腔室吹扫过程,氮气比氩气更受欢迎,因为它的质量更轻。

· 腐蚀性液体(如 LiPF6 电解液)必须密封在手套箱内的容器中。否则,液汽会凝结腐蚀钢腔和净化管道。


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